UVW 스테이지 개념 및 구조

단순 물류 장비가 아닌 디스플레이 및

반도체 관련된 공정에 투입되는 장비는

공통점이 있습니다.

바로 정밀도!!

자재의 틀어짐을 비젼이라는 기능으로

보정을 한다면 그 값을 직접 주고 움직이는

부붐도 있어야 할 것입니다.

그 부분이 UVW 스테이지 입니다.

통상적으로 XYθ스테이지와 UVW스테이지의

기본 구조는 아래와 같습니다.

【통상적인 XYθ 스테이지】

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【UVW 스테이지】

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UVW의 각 축은 아래와 같이 구동 합니다.

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UVW 스테이지는 모터 축의 수량에 따라

3축 4축 5축등 다양하게 구성이 됩니다.

위 그림과 같이 U축을 이동하면 스테이지는

X방향으로 이동하며 V축과 W축을 동시에

움직이면 Y방향으로 이동합니다.

추가로 U축, V축, W축을 동시에 움직이면

스테이지는 회전 합니다.

3축을 동시에 움직일 경우 - 방향과 +방향을

잘 알고 있어야 합니다.

저도 현장에서 가끔 있는 일입니다.

동기구동으로 움직일때와 직접 값을 넣어

수동으로 움직일 경우 축의 부호를 잘못

넣으면 동시에 모터방향이 같이 밀고 있는

경우가 발생합니다.

그렇게 되면 모터 부하가 높아져 서보가

다운되게 됩니다.

그러면 서보드라이버의 리셋을 한 후 원점을

잡고 다시 스텐바이를 진행해야 움직 일 수

있는 조건이 성립이 됩니다.

그만큼 바쁜시기에는 짜증나는 일입니다.

- 와 + 의 부호를 잘 확인 하셔야 합니다.

​

UVW 스테이지의 특징은

- 스테이지의 높이를 낮게 조절 할 수 있다.

- 2층 구조임으로, 기준면과 스테이지면과

평행을 맞추기 쉽다.

- 모터가 이동하지 않음으로 배선이 용이

( 단선될 가능성이 낮음）

- 고 정밀도

​

UVW 스테이지가 고 정밀도의 위치결정이

가능한 이유는, 특히 회전방향의 위치 결정에

있어서 동일한 이동 분해능의 모터를 사용하는

경우, 지렛대의 원리와같이 회전 중심에서부터

떨어진 위치에서 스테이지를 움직이는 편이

회전 분해능을 향상 시킬 수 있습니다.

​

단점은

- 이동 가능범위가 좁다

- 스테이지 제어가 어렵다.

​

단적으로 스테이지를 조립하여 안착 시킬 때

센서 도그 및 센서를 셋팅할 때 상당히 어렵습니다.

정말 손의 감으로 마이크로를 맞춰야 합니다.

이건 해보신 분들은 아실 겁니다.

현장에서 작업하다 다시 셋팅해야한다라는

말이 나오면 그냥 집에 가야겟다라고 생각이

들정도 입니다.

​

UVW스테이지는 이렇게 좋은 기능도 있지만

단점도 있으며 다루기 상당히 어려운 제품 입니다.

하지만 꼭 있어야 하는 제품이며 셋팅을 할

정도까지 올라간다면 능력치가 올라간 것 입니다.

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