진공 압력 소형 펌프의 종류와 특징

소형 펌프의 종류와 특징

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피스톤펌프, 기체펌프 (Piston Pumps)

강력한 힘을 바탕으로 고압,고진공에 적합,

다양한사이즈

다양한 유량의 펌프로 선택의 폭이 넓다.

반도체장비 및 공정.

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Max. Free Flow : 31 Liter/min

Max. Pressure : 7 bar

Max. Vacuum : -80 %

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다이아프램 펌프, 기체펌프 [Diaphragm Pumps]

다른종류의 펌프와 비교하여 수분에 강함

높은 효율성과 기밀성이 우수

소음이 약하다.

다양한 사이즈와 다양한 유량의 압축,

진공펌프.

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Max. Free Flow : 25 Liter/min

Max. Pressure : 2.5 bar

Max. Vacuum : -95 %

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로터리베인 펌프, 압축기 [Rotary Vane Pumps]

맥동이 없고 진동과 소음이 적다.

초소형크기.

연료전지 분석기, 입도분서기,

의료용으로 널리 사용

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Max. Free Flow : 36 Liter/min

Max. Pressure : 1.4 bar

Max. Vacuum : -84 %

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선형 다이아프램 진공펌프, 공기펌프 [Linear Pumps]

압력과 진공도가 다른 방식보다 약하나

크기에 비해 유량이 많다.

소음이 매우 낮음.

전력소비가 매우 낮다.

수명이 1만시간 이상으로 매우 길다.

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Max. Free Flow : 245 Liter/min

Max. Pressure : 200 mbar

Max. Vacuum : -120 mbar