단순 물류 장비가 아닌 디스플레이 및 반도체 관련된 공정에 투입되는 장비는 공통점이 있습니다. 바로 정밀도!! 자재의 틀어짐을 비젼이라는 기능으로 보정을 한다면 그 값을 직접 주고 움직이는 부붐도 있어야 할 것입니다. 그 부분이 UVW 스테이지 입니다. 통상적으로 XYθ스테이지와 UVW스테이지의 기본 구조는 아래와 같습니다. 【통상적인 XYθ 스테이지】 【UVW 스테이지】 UVW의 각 축은 아래와 같이 구동 합니다. UVW 스테이지는 모터 축의 수량에 따라 3축 4축 5축등 다양하게 구성이 됩니다. 위 그림과 같이 U축을 이동하면 스테이지는 X방향으로 이동하며 V축과 W축을 동시에 움직이면 Y방향으로 이동합니다. 추가로 U축, V축, W축을 동시에 움직이면 스테이지는 회전 합니다. 3축을 동시에 움직일 ..

엔지니어 자료 2023. 4. 5. 12:15